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ASML、中芯國際雙雙回應EUV光刻機“禁運”事件

時間:2019-11-11 作者:網絡整理 閱讀:
去年4月,中芯國際(SMIC)向荷蘭半導體制造設備供應商阿斯麥爾(ASML)公司訂購了一台EUV光刻機,用于研究7nm及以下的先進工藝。花費超過1.2億歐元(約10億人民幣)。而在去年12月,臨近交貨時間,ASML突發大火,導致2019年供貨情況遞延。2019年已經臨近尾聲,EUV仍未交付至中芯,業內再次傳出“延遲交貨”的風聲……

去年4月,中芯國際(SMIC)向荷蘭半導體制造設備供應商阿斯麥爾(ASML)公司訂購了一台EUV光刻機,用于研究7nm及以下的先進工藝。花費超過1.2億歐元(約10億人民幣),預計今年底交貨,2020年正式安裝。OXrEETC-電子工程專輯

但11月7日,《日經新聞》報道稱,“荷蘭半導體設備供應商ASML已中止和中芯國際的合作計劃,且多位ASML供應商關系人士表示,ASML此舉是爲了避免因供應最先進的設備給中國,而刺激到美國,只得暫時中止交貨。”OXrEETC-電子工程專輯

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《日經新聞》報道截圖OXrEETC-電子工程專輯

《日經新聞亞洲評論》援引消息人士的話稱,ASML成爲美國政府的“犧牲品”,“延遲發貨”的一大原因來自于美國政府的壓力。OXrEETC-電子工程專輯

该消息人士还称,ASML暂时决定推迟EUV设备的交付,“是因为它不想让美国政府对此感到不安”,因为EUV是目前最先进的芯片光刻机。“但与此同时,考虑到中国是现如今增长最快的芯片市场,ASML也不想让中国及其中国客户对此失望不满。” 他补充道。OXrEETC-電子工程專輯

雙雙否認

消息發酵後,中芯國際股價因此受挫,跌幅一度超過5%。OXrEETC-電子工程專輯

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對此ASML與中芯國際均對此表示否定。OXrEETC-電子工程專輯

11月7日下午,ASML向媒体回应称,对于日经新聞报道的关于交货时程仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,对其将推测直接定性为事实作为新聞標題并在文中阐述,表示抗议。OXrEETC-電子工程專輯

ASML相关负责人强调:“实际上在我们第三季度财报中,就已经将相关情况进行说明,根据瓦圣纳协议(Wassenaar Arrangement),ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。因此,关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的,ASML只是在遵循法规行事,并一视同仁地服务我们全球客户。”OXrEETC-電子工程專輯

對于何時能拿到許可證,ASML相關負責人表示,目前處于正常的流程狀態中,尚未掌握確切的時間。OXrEETC-電子工程專輯

中芯國際也在7日下午进行回应:“极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活動。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常,客户与设备导入正常运作。”OXrEETC-電子工程專輯

ASML是全球EUV光刻机的唯一供应商,并且是全球市值最高的芯片设备制造商。ASML年收入约在 83 亿欧元 (约644亿元人民币) 左右。其中16%来自英特爾和美光等美國公司,19%來自中國。另外,ASML制造機器所需的零部件,有五分之一是在美國工廠生産的。OXrEETC-電子工程專輯

據了解,台積電三星已于2019年導入量産最先端産品的EUV設備,且蘋果預計2020年下半年開賣的新型iPhone預估就會搭載采用該技術的CPU。OXrEETC-電子工程專輯

中芯去年花1.2億美元“搶”到一台

中芯國際是中國大陸最大的半導體制造公司,今年14nm工藝已經實現客戶風險量産,追平台聯電14nm工藝,預計在今年底貢獻有意義的營收,明年年底實現大量出貨。OXrEETC-電子工程專輯

目前台積電买下了ASML今年的30台EUV光刻机中的18台,不过量产的7nm工艺仍是基于DUV(深紫外)工艺,今年3月份才启动7nm EUV的量产。而三星在去年就小规模投产了7nm EUV。OXrEETC-電子工程專輯

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從中芯國際近2年晶圓收入構成來看,7nm和EUV還是太早。中芯國際目前主要的營收來自于90nm及以上工藝,2018年45/40/28nm先進工藝合計營收占比只有14%。OXrEETC-電子工程專輯

2018年以前,所有65nm以下先进工艺都是依赖193nm DUV设备制造的,台積電正是用这套设备率先实现了7nm量产,所以买EUV光刻机对中芯國際的意义更多在为未来产线升级提前布局,而不是必须依赖它来上7nm。OXrEETC-電子工程專輯

去年5月,中芯國際向荷蘭ASML訂購了首台EUV光刻機,價值1.2億美元,幾乎相當于該司2017年全部淨利潤。光刻機原計劃于2019年年初交付。OXrEETC-電子工程專輯

而在去年12月,臨近交貨時間,ASML突發大火。根據官網信息,火災摧毀元件供應商Prodrive工廠的部分庫存、生産線,因此,2019年年初供貨情況預計將會遞延。OXrEETC-電子工程專輯

2019年已經臨近尾聲,EUV仍未交付至中芯,並再次面臨“延遲通知”的風險。ASML方面將此歸因于出口許可證到期。OXrEETC-電子工程專輯

不过,业内人士透露,这批设备仍预计最快在 2020 年初前出货,并且在 2020 年底前完成装机。OXrEETC-電子工程專輯

光刻機爲什麽重要?

光刻環節實現芯片設計圖從掩模到矽片上的轉移,是芯片生産流程中的最關鍵步驟,直接決定芯片的工藝水平和性能水平。芯片在生産過程中需要進行20-30次的光刻,耗時占到制造環節的50%左右,占芯片生産成本的1/3。OXrEETC-電子工程專輯

光刻机是光刻工艺的核心设备,设计系统集成、精密光学、精密运动等多项先进技术,具备极高的技术含量和单台价值量,当前最先进的ASML EUV光刻机单价达到近1亿欧元(约7.7亿元人民币)。OXrEETC-電子工程專輯

芯片制造的發展方向是更小的工藝以及更低的成本,這要求光刻機能不斷實現更小的分辨率水平。按照所用光源劃分,光刻機經曆了五代産品的發展,每次光源的更替都是的工藝水平有了極大的提升。OXrEETC-電子工程專輯

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目前,業內已達成共識,必須使用EUV光刻機才能使半導體芯片進入7nm,甚至5nm時代。OXrEETC-電子工程專輯

絕對龍頭ASML

就市場玩家來看,目前市場上提供量産商用的光刻機廠商有三家:ASML,尼康(Nikon),佳能(Canon),ASML占有60%以上市場份額。最高端的EUV市場ASML一家獨占。OXrEETC-電子工程專輯

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2017年全球光刻機出貨量及占比(圖:國際電子商情)OXrEETC-電子工程專輯

EUV光刻机年产量不高,从2013年首批2台EUV光刻机量产以来,到2019年ASML EUV光刻机预计年产量也只有30台。截止到2018年上半年,ASML共出货8台EUV,每季度各出货4台。但有7台是在二季度确认收入。OXrEETC-電子工程專輯

从财报数据可以看出二季度每台EUV平均价格95M,折合人民币7.5亿/台。预计2018全年出货EUV20台,2019年30台。合并第一季度与第二季度数据,EUV已经占ASML 20%营收比例。OXrEETC-電子工程專輯

ASML成立于1984年,由菲利普與先進半導體材料國際(ASMI)合資成立,專業從事光刻機設備的開發,總部位于荷蘭的費爾德霍芬。1995年,ASML收購了菲利普持有的股份,稱爲完全獨立的公司,同年在阿姆斯特丹和納斯達克交易所上市。OXrEETC-電子工程專輯

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截至11月7日,ASML市值为1132亿美元,共有一万六千名员工,其中研发人员占比超过36%, 也就是说有超过六千人是研发人员。OXrEETC-電子工程專輯

2018年上半年,ASML在中國新成立了4家分公司,分布在合肥、成都、武漢、晉江四地,想要進一步深耕中國市場的意圖十分明顯。OXrEETC-電子工程專輯

你的光刻機都賣給誰了?

从其去年的年报来看,ASML前三大下游市场是韩国、中国台湾、美国,占比分别达到36%、26%、13%,主要是因为三星、台積電、英特爾是ASML的三大主要客户,其中订货量是台積電10台,三星6台,英特爾3台,格芯1台,中芯國際1台。ASML在中國大陸营收达到7.2亿欧元,占比为11%,是第四大市场。OXrEETC-電子工程專輯

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根據7月17日,ASML公布的2019年二季度財報,其當季淨銷售額爲25.68億歐元(機器銷售18.51億歐元),毛利率達43%。其中銷售7套EUV系統,銷售額爲7.59億歐元,占機器銷售額41%。發往中國的訂單占12%,約2.22億歐元。OXrEETC-電子工程專輯

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根据ASML的财报,逻辑和存储需求在光刻机总销售收入上约为60%、40%的比例,大部分订单来自中国台湾和韩国。其中存储需求使用193 nm (ArF) 浸润式光刻机(如长江存储采购的1980Di),除去放弃了7nm及以下先进工艺的代工企业,那么有能力购入EUV的只剩下少数Foundry和大型IDM,答案呼之欲出:台積電、三星。Intel目前的10nm产线处于投产阶段,近期未见有先进产线扩产举动,如果交货可能也只有1台。OXrEETC-電子工程專輯

另一個值得注意的數據:與光刻機相關的安裝管理銷售額達7.17億歐元,幾乎占到總收入的28%,包括配套的軟件、調試、維護費用等。充分說明在一台光刻機成爲“印鈔機”之前,讓它運轉起來是多麽燒錢。OXrEETC-電子工程專輯

ASML壟斷了市場,但沒壟斷技術

根據《電子工程專輯》兄弟媒體《國際電子商情》的彙總和報道,雖然占據了全球80%的市場份額,但是ASML並非技術壟斷。OXrEETC-電子工程專輯

ASML光刻機設備90%的零部件都依賴外購,光源來自于美國Cymer(2013年,ASML完成對Cymer的收購),光學模組來自德國蔡司,計量設備來自美國是德科技,傳送帶則來自荷蘭VDL集團。同時,ASML也非常重視並購投資以及與其他企業合作的策略,光刻機的研發需要投入巨大的人力物力財力,並事關全球半導體芯片的升級速度。OXrEETC-電子工程專輯

實際上,ASML也並非一直都一帆風順。1984年,ASML從飛利浦公司半導體部門獨立,獨立後ASML專注研發光刻技術。創立初期ASML與日美同類企業相比,在技術方面稍顯落後,且缺乏充裕的研發資金。爲此,ASML決定走輕資産道路,基于該策略再加上母公司飛利浦的雪中送炭,ASML在1995年成功上市。OXrEETC-電子工程專輯

提升技术最便捷的方式即是通过並購来填补空白,在上市之后ASML开始了一系列的並購和投资。其中,最重要的一桩並購案是2013年以19.5亿欧元全资收购美国光学技术供应商Cymer,该起並購为高端EUV光刻机成功量产奠定了基础。2016年11月ASML收购了 Carl Zeiss SMT 24.9%的股权,ASML承诺将在未来6年内投资2.2亿欧元支持Carl Zeiss SMT在光学光刻技术上的研发,同时还将针对Carl Zeiss SMT的其他相关供應鏈投资5.4亿欧元。同年11月,ASML完成了对汉微科的收购,以强化其产业链的垂直整合能力。ASML並購投资详情见下表:OXrEETC-電子工程專輯

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表1:ASML投资並購信息汇总(圖自:國際電子商情)OXrEETC-電子工程專輯

三大投資人,也是三大客戶

关键微影技术的研发迫切需要超紫外光(EUV)技术,在全球范围内只有ASML具备研发EUV光刻机的实力。为此,2012年全球三大芯片巨头公司英特爾、台積電和三星宣布联合投资ASML,并分别获取了ASML 15%、5%、3%的股权。OXrEETC-電子工程專輯
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表2:ASML被投資信息彙總(圖自:國際電子商情)OXrEETC-電子工程專輯

热钱的注入,让ASML EUV光刻机有了新的突破,2012年NXE3300B型号的EUV光刻机研制成功,采用22nm光源,数值孔径为0.33,2013年开始供货。2017年,更先进的EUV光刻机NXE3400B开始出货,该机型的分辨率为13nm,使得7nm线宽的制程成为现实。2018年10月,台積電宣布基于EUV技术的7nm芯片已经流片成功。采用EUV光刻机的7nm 芯片,比采用DUV光刻机的芯片密度要提高20%,功耗降低6~12%。OXrEETC-電子工程專輯

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表3:ASML EUV各种产品型号信息(圖自:國際電子商情)OXrEETC-電子工程專輯

EUV光刻机有所突破之后,三巨头也抛售了大部分ASML的股票。2015年底,台積電出售了其全部的ASML 股权,并从中获利6.95 亿美元。2016年9月,三星以6.06 亿欧元的价格出售630 万股ASML 股票,目前其ASML的股权降为1.45%。英特爾从2016年底才开始出售ASML的股权,经过两次减持股份之后,英特爾目前只占有不超过3%的股份。OXrEETC-電子工程專輯

责编:Luffy LiuOXrEETC-電子工程專輯

本文綜合自國際電子商情、芯片大師、科創板日報、觀察者網、東方財富網、上海證券報報道OXrEETC-電子工程專輯

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